真空度測(cè)試儀

一 注意事項(xiàng)

請(qǐng)您在使用真空度測(cè)試儀前仔細(xì)閱讀本手冊(cè)。

在開(kāi)機(jī)之前請(qǐng)先接好所有測(cè)試連接線，如打印機(jī)連接線；

測(cè)量前，請(qǐng)檢查管型是否適合所檢測(cè)的真空管，以便準(zhǔn)確測(cè)量。

開(kāi)機(jī)、關(guān)機(jī)及測(cè)量時(shí)，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。

儀器在使用過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)線圈發(fā)出異常響聲，應(yīng)考慮測(cè)試線短路或接觸不良，或者空氣十分潮濕，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素。

請(qǐng)不要使用汽油、香蕉水等化學(xué)劑擦拭機(jī)器，而應(yīng)使用柔軟干燥的布。

請(qǐng)確認(rèn)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)電壓是否與本機(jī)供電電壓相符。

交流220±10%  50/60HZ

請(qǐng)注意不要在雷雨的情況下使用機(jī)器。

請(qǐng)不要破傷隨機(jī)所帶的線纜，以確保使用安全。

儀器出現(xiàn)故障時(shí)，非本公司專業(yè)技術(shù)人員嚴(yán)禁擅自打開(kāi)儀器進(jìn)行檢修。

嚴(yán)禁高壓端直接或間接對(duì)地?cái)嗦贰?/span>

二  性能特點(diǎn)：

1基于電離電荷的采樣技術(shù)

 YSBZ6000真空度測(cè)試儀采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此，開(kāi)發(fā)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

2高低壓管型測(cè)試

本機(jī)另外對(duì)測(cè)試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓3萬(wàn)低壓2.5)，因此可對(duì)高低壓不同的各類管型時(shí)行有效測(cè)試。

3內(nèi)置國(guó)內(nèi)真空滅弧室的測(cè)量曲線

 真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí)，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量，對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線,通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過(guò)數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入本系列產(chǎn)品。因此，本系列產(chǎn)品內(nèi)置所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。

4漏電電流的處理

 對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí)，靜觸頭端會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性。并且在數(shù)值上與10E—4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

5判別*漏氣的真空滅弧室

 在本型機(jī)中，通過(guò)高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。

6完善的輸入保護(hù)電路

 當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至負(fù)離子電流采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居時(shí)間，微電腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控，使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。

7數(shù)據(jù)記錄

內(nèi)設(shè)微型打印機(jī)，可隨時(shí)打印出測(cè)試數(shù)據(jù)。

三 技術(shù)參數(shù)

l 所測(cè)真空泡：電壓等級(jí)6KV-35KV以上

l 測(cè)量范圍：10-5-10-1Pa

l 測(cè)量誤差：10-4-10-1Pa中誤差±10%

l 測(cè)量分辨率：10-5 Pa

l 漏氣的滅弧室在測(cè)量中將發(fā)生電擊穿，本機(jī)處于保護(hù)狀態(tài)。

l 允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在0℃以下測(cè)試時(shí)請(qǐng)先將機(jī)器通電20分鐘后再使用。

l 空氣濕度：＜85%RH

l 輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ

l 外形尺寸：350×320×225mm